近日，山東勞動職業(yè)技術(shù)學(xué)院傳來喜訊，該校勻速先鋒創(chuàng)新團(tuán)隊馬益軒、張欣銘等人成功研制出560SY型全自動勻膠設(shè)備。

據(jù)了解，該設(shè)備在謝立秋、任勇、孫大銘等專業(yè)教師的指導(dǎo)下，歷經(jīng)5年多的時間，查閱大量文獻(xiàn)資料，深入研究勻膠機(jī)的工作原理和技術(shù)瓶頸，經(jīng)過反復(fù)測試和優(yōu)化，獨創(chuàng)“雙手雙腔四倉四加熱”聯(lián)動解決方案，提高了生產(chǎn)效率，實現(xiàn)了對涂覆過程的精確控制，突破了光刻領(lǐng)域“卡脖子”技術(shù)瓶頸，為相關(guān)科研領(lǐng)域帶來新的發(fā)展動力，成為國產(chǎn)勻膠機(jī)自動旋涂破冰者。

圖1 國產(chǎn)自動旋涂勻膠破冰者-560SY型勻膠機(jī)

圖2 560SY型勻膠機(jī)三維圖

圖3 團(tuán)隊正在用儀器檢測勻膠效果

圖4 團(tuán)隊負(fù)責(zé)人馬益軒加工勻膠噴頭

圖5 團(tuán)隊負(fù)責(zé)人馬益軒正在進(jìn)行設(shè)備調(diào)試

勻膠機(jī)是科研和工業(yè)生產(chǎn)中用于在基片上均勻涂覆薄膜的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)等領(lǐng)域。針對傳統(tǒng)勻膠設(shè)備膜厚均勻性不足、熱烘穩(wěn)定性差、調(diào)試周期長等行業(yè)痛點，設(shè)備首創(chuàng)納米勻膠噴頭結(jié)構(gòu)，通過試驗優(yōu)化旋轉(zhuǎn)速度、光刻膠溫度、滴膠量等參數(shù)，確保滴膠精度可控可調(diào)，膜厚均勻性比改進(jìn)前提高了29%；首次搭建了動態(tài)溫度傳感系統(tǒng)，降低了溫度誤差，熱烘效率提高了19.4%；創(chuàng)新雙機(jī)械手多工位協(xié)同運作，優(yōu)化遺傳算法，實現(xiàn)全流程最優(yōu)節(jié)拍，工作效率提高了23%。2025年3月17日，經(jīng)一級科技查新咨詢單位科學(xué)技術(shù)部西南信息中心查新中心查新，報告表明：國內(nèi)外未見其他相同文獻(xiàn)報道，本項目具有新穎性。設(shè)備申報了5個國家專利，6個軟著，簽訂了81.38萬元采購合同。團(tuán)隊通過原創(chuàng)性技術(shù)突破，解決了勻膠機(jī)行業(yè)痛點，為半導(dǎo)體光刻行業(yè)提供了高精度、高效率的國產(chǎn)化裝備。

在項目研發(fā)過程中，同學(xué)們將理論知識與實際應(yīng)用相結(jié)合，從實驗室到中試，團(tuán)隊成員經(jīng)常一連數(shù)月開啟“24小時運轉(zhuǎn)”模式，對溫度、旋轉(zhuǎn)速度、工藝時間等成百上千個參數(shù)一遍遍驗證、分析、微調(diào)……直至找到最優(yōu)解。就是在這樣的條件下，團(tuán)隊一步步突破封鎖、打破壟斷，終于攻克了長期“卡脖子”困局，研發(fā)出560SY型全自動勻膠設(shè)備，解決了勻膠不均勻、效率低等諸多技術(shù)難題，促進(jìn)芯片制造自主可控。項目鍛煉了學(xué)生的實踐能力，培養(yǎng)出了以程煥瑞為代表的山東省技術(shù)能手。團(tuán)隊負(fù)責(zé)人馬益軒分享道：“參與這個項目讓我對專業(yè)知識有了更深入的理解，也體會到了科研創(chuàng)新的樂趣與挑戰(zhàn)。作為新時代的青年，能在干事創(chuàng)業(yè)的平臺上，發(fā)揮青春智慧、創(chuàng)造青春價值，是我們團(tuán)隊的光榮使命！”

山東勞動職業(yè)技術(shù)學(xué)院近年來一直重視學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)能力的培養(yǎng)，鼓勵師生參與科研項目，為項目提供場地、設(shè)備和資金支持，推動產(chǎn)教融合與科技成果轉(zhuǎn)化。此次勻膠機(jī)升級改造的成功，是學(xué)校創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育的又一成果，也為光刻領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展注入了“中國芯”。未來，該團(tuán)隊計劃進(jìn)一步聚焦勻膠機(jī)的前言技術(shù)，加強(qiáng)品牌宣傳和推廣，為國家創(chuàng)造更多的社會價值。（來源：山東勞動職業(yè)技術(shù)學(xué)院）